日本丰田工机公司研制成功采用浮动抛光进行超精密加工的SP46型超精密平面抛光机。实现了工件表面的超精密双面抛光加工。介绍超精密平面抛光机的工作原理。

　　以便进行抛光板的平面度控制，对种功能陶瓷进行了平面抛光实验。平面抛光机的概要浮动抛光加工原理图1表示浮动抛光加工状态。环形抛光机用于精密光学平面的精抛光，以石英玻璃为对象进行双面抛光加工实验。

　　并对该数控转子抛光机的机械和电气部分的设计进行了分析。K-20KM-204精密平面抛光机是国内首家研制成功的种适用于光学玻璃、硅、锗、金属等材料的平面研磨和抛光的新型机床。对修正环形抛光机定偏心和不定偏心平面研磨进行了运动分析，并分析了修整环型抛光机抛光过程中工件材料的去除函数。

　　对般情况下抛光机工作时的噪声与水下工作时抛光机的噪声进行了试验测量。分析达到纳米级超精密抛光的技术难点，进行了直线轨道式化学机械抛光机机械本体及相关零部件的设计工作，精密光学平面制造技术研究。研制了种采用专家数据库智能控制系统的纳米级超精密平面抛光机。

　　陶瓷抛光机作为瓷砖深加工过程中的主要加工设备。分析了多转速抛光机结构和原理。在此基础上设计了适用于抛光机调速系统的模糊PID控制器。

　　针对建筑陶瓷抛光机噪声产生的原因进行了分析，需对抛光机的运行机理和主传动系统进行分析，全自动砂带抛光机是专门用于汽车汽门小径外圆的抛光，并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现，并包括砂带磨、珩磨机、研磨机、抛光机、超精机、砂轮机和粗磨床，磨床是种以磨料磨具为切削工具对工件进行磨削加工的种金属切削机床。简述超精密加工技术现状，加水可以降低陶瓷抛光机加工时的噪声。是种新型的光学抛光设备。

　　对转子抛光机的数控化改进、绿色设计的应用进行了技术总结。本文研制的双面抛光机在总结了国内外双面抛光机设备的基础上，最后在新研制的超精密双面抛光机上。这种抛光机以0—150转/分进行变速转动。

　　抛光部分平面。对机械结构进行优化设计和研究。