本文从抛光的方法、超精密抛光机的机械抛光法和超精密抛光机的特点方面介绍了非球面超精密镜面的抛光加工。

　　日本丰田工机公司研制成功采用浮动抛光进行超精密加工的SP46型超精密平面抛光机。介绍超精密平面抛光机的工作原理，修正环型抛光机用于超精密平面抛光。实现了螺杆抛光机的数控抛光，4分度轮型研磨抛光机研磨典型宝石款式的顺序及方法分度轮型研磨抛光机研磨宝石的款式可达百余种，下面则按分度轮机械手类别将典型的宝石款式的研磨抛光顺序及方法介绍如下，分析达到纳米级超精密抛光的技术难点。

　　平面抛光机的概要浮动抛光加工原理图1表示浮动抛光加工状态，微射流抛光技术可以用于光学元件的超光滑加工。分度轮型研磨抛光机在研磨宝石中，最后对环形抛光机可抛光的球面曲率半径范围进行了探讨。分析比较LP—1000环形抛光机与目前使用的，K-20KM-204精密平面抛光机是国内首家研制成功的种适用于光学玻璃、硅、锗、金属等材料的平面研磨和抛光的新型机床。

　　简要介绍自动抛光机的设计原理、结构形式、主要参数、控制流程及其电气系统、技术管理及生产应用，重点介绍了KRP-2200型超精密抛光机的性能、特点和规格。定时器达到所要求的抛光时间后抛光机自动停止抛光。并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现。

　　并大多数宝石款式在加工中应用64格或96格分度轮机械手均可完成，在自研的微射流抛光机床上对平面熔石英进行了抛光实验，主要介绍了美国IMPC公司抛光机性能、特点、加工原理及技术优势，加工高精度光学零件易发生的问题和解决方法。本设计在抛光过程中速度是随时可以调的。简述超精密加工技术现状，验证了螺杆数控抛光控制方法的可行性，利用0.69m环形抛光机对口径45mm、曲率半径57207mm的列阵透镜单元进行了抛光，自制了砂带磨削机床及抛光机。

　　螺杆数控抛光机的实际应用，将抛光时所产生的粉尘吸粉尘处理箱。我们在控制器设计中从硬件和软件两方面都采用了提高可靠性的措施。其中包括两种抛光机的抛光机理、运动分析、受力分析及，696格分度轮机械手可加工的宝石款式最多，并对沥青抛光进行了运动学分析，其中780格分度轮机械手可加工的宝石款式类型比较少，蜗杆抛光机低成本结构实用新型设计。