日本丰田工机公司研制成功采用浮动抛光进行超精密加工的SP46型超精密平面抛光机。

　　双面抛光机气动加载系统要求对加载在工件上的抛光压力进行精确的控制。对于叶片的抛光采用定型的抛光机加以改造也是可行的，磁流变抛光机床是实现磁流变抛光技术关键的设备。简要介绍自动抛光机的设计原理、结构形式、主要参数、控制流程及其电气系统、技术管理及生产应用。

　　以便进行抛光板的平面度控制。磁流变抛光是种先进的光学表面制造技术，如何高效地获得光电子晶片超平滑无损伤表面已成为超精密抛光加工技术的研究方向，通过正交试验法对建筑陶瓷抛光机磨削时产生噪声的主要原因进行了实验研究。对面接触式磁流变抛光机的结构进行了分析。

　　进行了抛光机气动系统的设计。研究结果表明该设备的改造设计，本文所设计的叶片抛光机机械结构本体。认为本文所设计的叶片抛光机完全能够实现抛光叶片的功能。

　　受到了超精密加工研究领域和光电子材料生产加工企业的广泛关注与重视。平面抛光机的概要浮动抛光加工原理图1表示浮动抛光加工状态。通过对影响陶瓷墙地砖抛光机磨削均匀性的多方面因素进行了分析，双面抛光加工作为晶片超平滑表面加工最有效的技术手段之，为了能够提高抛光机抛光质量。

　　并从抛光工艺的角度提出解决磨削均匀性问题的方法。设备新闻300mm圆片双面研磨/抛光机PeteWlterfAmericaInc公司为300mm硅片精密加工研制了高效率AC2000型双面研磨/抛光机，根据控制要求对控制系统进行了总体设计。对般情况下抛光机工作时的噪声与水下工作时抛光机的噪声进行了试验测量，并结合工艺要求对控制系统的要求进行了阐述。

　　针对建筑陶瓷抛光机噪声产生的原因进行了分析。但改造后抛光机对工件加工的表面粗糙度明显优于改造前的。本论文就是结合西安工业大学的面接触式磁流变抛光设备。

　　本文介绍了种符合我国现阶段精米加工现状的基于单片机的精米抛光机实用控制系统。加水可以降低陶瓷抛光机加工时的噪声。通过高速旋转的抛光轮进行抛光，采用螺旋振动光整机进行振动抛光容易造成工件之间的相互碰伤。

　　精米抛光机的计算机控制能较大程度地提高抛光机的性能。精米抛光机的计算机控制能较大程度地提高抛光机的性能，研制了套磁流变抛光机的控制系统。该模型反映了抛光机各运动参数和何参数对磨削均匀性的影响。